化學氣相沉積氣體用來生成沉積薄膜。不同的沉積薄膜需要不同的電子氣體。
聯系我們>
刻蝕過程需要電子氣體與被刻蝕物發生化學反應??涛g氣體與被刻蝕物發生化學反應,導致被刻蝕物消除。
離子注入氣體是在作為參雜氣體注入到晶圓表面。
隨著市場的發展,公司自主研發半導體其他工藝所需的稀有氣體及其他混合氣體,解決部分“卡脖子”產品問題。